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他17年前的勇敢決定 造就台灣最大半導體聚落

【發布日期】: 2018-4-11 

【新聞來源】:天下雜誌

 

清華電機暨光電所林本堅教授。

隨著未來台積電最先進的5奈米、3奈米先進製程在南科生產,南台灣將超過新竹、台中,成為台灣最大半導體群聚,佔台積營收比重更將超過50%。這一切都要回到17年前,如果,當時的台積電副總經理林本堅抗壓性弱一點,這些成果可能將不復存在......。

 

金庸第一本小說《書劍恩仇錄》有個武當派高手,外號叫「綿裡針」,他是金庸創造的第一個人物,據說是拿報社專門催他稿的老編輯為原型。是一個平時溫文,但是一旦認真起來,即便天王老子也敢拚命的生動人物。

台灣科技業裡頭的「綿裡針」,則非兩年前退休的台積電前研發副總經理林本堅莫屬。

 

中研院第一個產業界院士

 

林本堅是台積電,甚至整個台灣科技業的傳奇人物。當前全球半導體高階製程所用的浸潤式微影技術,便來自他的發明。他也因此成為中研院第一位產業界出身的院士。  

3月30日,是他自傳《把心放上去:林本堅的「用心則樂」人生學》的新書發表會。

書中最讓舊識好友們津津樂道的一段,就是林本堅早年在IBM半導體部門做深紫外光微影研究時,公司的發展主流,卻是另一項X光微影技術,不但人力資源遠超過他的團隊,而且,負責X光微影的主管,同時也是林本堅的頂頭上司。他在公司處境之尷尬可想而知。

 

"但這位以好好先生著稱,台積部屬十多年幾乎沒見他發過脾氣的「Burn(林本堅的英文名字)爺爺」,竟不甘忍氣吞聲,以幽默的方式,公開與上司唱反調"

 

某天,X光微影技術有了重大進展,他的上司發給每人一件T恤「X ray works」(X光有用)以資慶賀,林本堅竟是在後面加了三個字,成了「X ray works - for the dentists」(X光可用,是在牙醫診所),還用磁鐵掛在他辦公桌後面的文件櫃上,昭告所有路過的同事。(值得一提的是,深紫外光,成了半導體過去三十年的主要光源,X ray則至今仍未商用化。)

形勢比人強,林本堅還是在50歲,申請提早退休創業,並在2000年加入台積負責微影研發。

工作兩年,就搞出大事

他到台積電工作兩年,就搞出轟動全世界半導體界的大事。

當時業界主要微影光源──波長193奈米的雷射,性能已經難以持續推動摩爾定律。而預計接棒的157奈米光源,因為種種技術難題,商用化時程一再延後,成為業界頭痛的問題。

當林本堅在2002年,應邀到157奈米的業界研討會,竟然以一個眾人都沒想到的技術──將既有技術小幅改良的193奈米浸潤式微影為演講主題,結果引起滿場轟動。

 

把摩爾定律推進七代

一個日本、美國、歐洲設備廠投下百億美元研發的技術,就因為林本堅一席話而被擱置。

 

"當時是林本堅上司、前台積共同營運長蔣尚義回憶,當時確實有設備大廠的高層主管表達嚴重關切,「希望我能管管他,不要攪局,」他在林本堅的新書序裡寫著。"

 

林本堅的新書中,將「發明並推廣浸潤式微影,把摩爾定律推進了七代」列入自己在投影微影領域的八項貢獻之一。

其中另一項,他在IBM工作時期完成的研究,「模擬機台震動對成像容忍度的影響」,看似不起眼,但對台灣科技業的持續發展,亦有巨大貢獻。

 

一句話,讓台積南科廠繼續蓋

時間回到2001年,當時台灣朝野為了高鐵完工之後,以300公里時速呼嘯而過產生的震動,會不會影響附近南科區內半導體廠生產,而爭論不休。

當時台積的在南科已有一座六廠,十四廠廠房外觀剛完工,但設備尚未搬入,便暫停施工。

「整個園區都有這困擾,要不要蓋下去,不曉得怎麼辦?」林本堅回憶。

蔣尚義推薦林本堅加入台積內部的評估小組,因為他負責的光學微影對震動最敏感,他覺得沒影響,其他部份理應也沒影響。他欣然同意,因為他在IBM做過過震動對機台影響的研究,正巧派上用場。

他做了詳盡的實驗,細細分析之後,得出結論:「沒有影響。」

 

"「那個時候,假如我是為了保護自己,我會說不要做,就不蓋了,絕對不會出事,」林本堅說,「我說可以做,(萬一出事)就要負很大責任。」"

 

但他對於自己的實驗結果與計算很有信心,結果顯示,台積廠址距離高鐵震動影響最嚴重的地方,還有一段安全距離,「沒有證據都支持我說沒有不行,所有事實都是支持我說可以。」

於是,在2001年10月底,台積電出乎意料的宣布,經過該公司針對高鐵振動問題的專案小組評估,「確認在妥善的工程技術之下,未來高鐵行經南科附近時所帶來的振動對該公司積體電路生產不致造成影響。」

 

南科已成為台積電未來十年的擴廠重點。(劉國泰攝)

 

帶動半導體群聚效應

台積董事長張忠謀一聲令下,原先停工的14廠復工。紛擾一時的高鐵震動爭議,也因此煙消雲散。聯電等其他半導體廠,也跟著在南科加碼投資。

 

"目前南科已成為台積電未來十年的擴廠重點,不但目前16奈米及20奈米製程均在南科生產,未來的5奈米、3奈米先進製程也都將在此。預計佔台積營收比重,將超過50%。預計員工人數超過1.4萬人,帶動的群聚效應、投資外溢效果更遠超過這些數字。"

 

而這都來自這個眼神專注安定的半導體大師,當年一個勇敢的決定。

問林本堅,為何這段軼事沒寫進自傳。

他莞爾一笑:「這小事。」(責任編輯:洪家寧)

 

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